无锡影速半导体取得LDI自动化曝光系统专利，避免人工进料实现全自动和封闭式管理以提高曝光环境洁净度

金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，无锡影速半导体科技有限公司取得一项名为“一种LDI自动化曝光系统”的专利，授权公告号CN223140022U，申请日期为2024年09月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种LDI自动化曝光系统，属于超大薄板曝光技术领域。通过将LDI曝光机设置为封闭式，同时，采用侧面开口进出板，减少了曝光机在曝光过程中与外界环境的接触，保证了曝光环境的洁净度。并且，通过加装多轴机械手、地轨、来料载具、出料载具的配合工作以实现灵活的自动化搬运和侧面进料曝光，避免了人工进料，实现全自动和封闭式管理，进一步提高了曝光环境的洁净度。解决了现有技术中超大板进出料及曝光过程中洁净度及温湿度难以保证的问题。

天眼查资料显示，无锡影速半导体科技有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡影速半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目6次，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可8个。

来源：金融界